GTW718_真空排氣氣體過濾器_TAIYO太陽鐵工
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半導體?液晶製造裝置用真空排気ガスフィルター「マルチコレクター」
半導體製造裝置の真空排気系では、生成物質により配管が短期間で閉塞、マルチコレクターは、長期間の安定操業を可能にしました。
【特長】
マルチコレクタ內で反応生成物を成長促進させます。
捕捉面積の大きなプリーツ狀カートリッジを採用しています。
長期間メンテナンスフリーを実現。
カートリッジは、電著効果 を持たせていますので、サブミクロンの粒子も逃しません。
マルチコレクターの後段の配管のメンテナンスは、長期間不要。
PCVD裝置、エッチング裝置、イオン注入裝置のドライ真空ポンプ前段又は後段に設置し、真空排気系のトラブルを低減します。
冷卻ユニットを設置する事により、生成物を強制析出させ、カラムライフを飛躍的に延ばします。
【主な用途】
PCVD裝置の真空、排気ラインのトラブル防止
エッチング裝置の排気側ラインの配管閉塞防止
液晶製造裝置の排気側ラインの配管閉塞防止
イオン注入裝置、PCVD裝置の真空ポンプの安定稼動
排ガス除害裝置の壽命の安定化
【備考】
テスト機の貸出しできます。詳細はお問い合わせください。
**免費咨詢**:4008-933-365
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